Назначение и применение
Учебный микроскоп для проектной и исследовательской деятельности студентов по дисциплинам естественно-научного блока знаний.
Специальное оборудование для преподавания основ нанотехнологий. Образовательный процесс с использованием Nanoeducator направлен на освоение основ работы в режимах Сканирующей Зондовой Микроскопии, приобретение навыков исследования нанообъектов и наноструктур, проведение зондовой нанолитографии и наноманипуляций.
Основные СЗМ методики
АСМ, «Полуконтактный» метод
- Отображение рельефа
- Отображение дифференциального контраста
- Отображение фазового контраста
- Силовая спектроскопия
- Динамическая силовая литография
СТМ
- Отображение рельефа
- Отображение тока (метод постоянной высоты)
- V(Z) спектроскопия
- I(V) спектроскопия
Наличие АСМ и СТМ методик позволяет проводить исследования как проводящих, так и диэлектрических образцов.
Технические характеристики
|
Система сканирования
|
|
Сканирование
|
образцом
|
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY,мкм
|
не менее 100
|
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм
|
не менее 10
|
|
Пошаговое сканирование (Мин. шаг)
|
2 Å
|
|
Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений линейных размеров в плоскости XY
|
не более 5%
|
|
Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений линейных размеров по оси Z
|
не более 5%
|
|
Разрешение
|
|
Разрешение в плоскости XY
|
не более 50 нм
|
|
Разрешение по оси Z
|
не более 2 нм
|
|
Максимальное число точек сканирования по X и Y
|
1024х1024
|
|
Нелинейность сканирования в плоскости XY
|
не более 30 нм
|
|
Неортогональнасть сканера в плоскости XY
|
не более 5°
|
|
Неплоскостность сканирования в плоскости XY
|
не более 500 нм
|
|
Дрейф в плоскости XY
|
не более 5 А/c
|
|
Дрейф по оси Z
|
не более 5 А/c
|
|
АСМ режим
|
X_Y – 50 нм, вплоть до 10 нм
с использованием острой иглы
и виброизоляции Z – 3 нм
|
|
СТМ режим
|
X_Y – 10 нм, Z – 3 нм
|
|
Операционные системы
|
Mac OS и Windows XP
|
|
Образец
|
|
Размер образца
|
диаметр вплоть до 12 мм
|
|
Толщина образца
|
вплоть до 5 мм
|
|
Возможность подавать напряжение на образец
|
есть
|
|
Массо-габаритные характеристики
|
|
Габаритные размеры контроллера (длина x глубина x высота)
|
260х160х360 мм
|
|
Габаритные размеры измерительной головки (длина x глубина x высота)
|
160х160х130 мм
|
|
Масса (в комплекте)
|
не более 8 кг
|
|
Условия эксплуатации
|
|
Напряжение питания переменного тока
|
220(+10/-15%) В
|
|
Потребляемая мощность
|
не более 60 Вт
|
|
Темепература окружающего воздуха
|
20±5 °С
|
|
Относительная влажность воздуха
|
не более 65±15%
|
|
Атмосферное давление
|
760±30 мм рт.ст
|
|
Дрейф температуры
|
не более 1°С в час
|
|
Амплитуда вибраций в полосе частот 1 — 1000 Гц
|
не более 0,5 мкм
|
