Сканирующий электронный микроскоп Nanoeducator NT-MDT

Назначение и применение

Учебный микроскоп для проектной и исследовательской деятельности студентов по дисциплинам естественно-научного блока знаний.

Специальное оборудование для преподавания основ нанотехнологий. Образовательный процесс с использованием Nanoeducator направлен на освоение основ работы в режимах Сканирующей Зондовой Микроскопии, приобретение навыков исследования нанообъектов и наноструктур, проведение зондовой нанолитографии и наноманипуляций. 

Основные СЗМ методики

 АСМ, «Полуконтактный» метод

  • Отображение рельефа
  • Отображение дифференциального контраста
  • Отображение фазового контраста
  • Силовая спектроскопия
  • Динамическая силовая литография


СТМ

  • Отображение рельефа
  • Отображение тока (метод постоянной высоты)
  • V(Z) спектроскопия
  • I(V) спектроскопия


Наличие АСМ и СТМ методик позволяет проводить исследования как проводящих, так и диэлектрических образцов.

Технические характеристики

Система сканирования
Сканирование образцом
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY,мкм не менее 100
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм не менее 10
Пошаговое сканирование (Мин. шаг) 2 Å
Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений линейных размеров в плоскости XY не более 5%
Среднеквадратичное отклонение (СКО) результатов измерений линейных размеров по оси Z не более 5%
Разрешение
Разрешение в плоскости XY не более 50 нм
Разрешение по оси Z не более 2 нм
Максимальное число точек сканирования по X и Y 1024х1024
Нелинейность сканирования в плоскости XY не более 30 нм
Неортогональнасть сканера в плоскости XY не более 5°
Неплоскостность сканирования в плоскости XY не более 500 нм
Дрейф в плоскости XY не более 5 А/c
Дрейф по оси Z не более 5 А/c
АСМ режим X_Y – 50 нм, вплоть до 10 нм
с использованием острой иглы
и виброизоляции Z – 3 нм
СТМ режим X_Y – 10 нм, Z – 3 нм
Операционные системы Mac OS и Windows XP
Образец
Размер образца диаметр вплоть до 12 мм
Толщина образца вплоть до 5 мм
Возможность подавать напряжение на образец есть
Массо-габаритные характеристики
Габаритные размеры контроллера (длина x глубина x высота) 260х160х360 мм
Габаритные размеры измерительной головки (длина x глубина x высота) 160х160х130 мм
Масса (в комплекте) не более 8 кг
Условия эксплуатации
Напряжение питания переменного тока 220(+10/-15%) В
Потребляемая мощность не более 60 Вт
Темепература окружающего воздуха 20±5 °С
Относительная влажность воздуха не более 65±15%
Атмосферное давление 760±30 мм рт.ст
Дрейф температуры не более 1°С в час
Амплитуда вибраций в полосе частот 1 — 1000 Гц не более 0,5 мкм

События
01 окт.
05 окт.
10 окт.
13 окт.
10 нояб.
15 нояб.
21 нояб.
12 мар.